1: 2018/12/18(火) 15:14:31.81 ID:CAP_USER
半導体研究機関であるベルギーimecは、米サンフランシスコで開催された半導体デバイスの国際会議「IEDM 2018」にて、ムーアの法則の延命を可能とする3nmおよびその先を見据えたCMOSロジックデバイスに関する発表を行なった。

今回のIEDMにおいてimecは、 縦方向に2段積層した3nmノードのSiおよびGeゲート・オール・アラウンド(GAA)ナノワイヤ/ナノシートFETの性能向上について3件の報告を行なった。

GAA MOSFETは、従来のFinFETと比べてゲート長とゲートピッチのさらなる微細化の実現に向けた有力候補で、ナノワイヤまたはナノシートを垂直に積み重ねることによって、限られたフットプリントの下で駆動電流を最大にすることができる。前回のIEDMにおいて、imecは実際に動作する積層GAAデバイスを発表していたが、今回は、その実用化に向けた一環としてのプロセスの最適化、GAA MOSFETの歪みの効果、信頼性と劣化のメカニズムに関した報告を行なったという。

1つ目の発表は、プロセスの最適化により、ナノワイヤのサイズを低減し、電気的性能を低下させることなく形状制御性を改善させたというもの。

続きはソースで

■GeナノワイヤGAA FET(左)およびSiナノシートGAA FET(右)のTEMによる断面図 (出所:imec)
https://news.mynavi.jp/article/20181218-742418/images/001.jpg

https://news.mynavi.jp/article/20181218-742418/
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引用元: 【半導体】ムーアの法則の延命へ - 3nm以降の実現に向けた研究成果をimecが報告[12/18]

2: 2018/12/18(火) 15:16:04.55 ID:eEHM4CWe
ムーアの法則 = ガマの油売り

3: 2018/12/18(火) 15:20:49.56 ID:/gn1tfdp
とっくに破綻してのに
プロセスルールの測り方を変えて成立してるように見せかけてるだけだろ

7: 2018/12/18(火) 15:33:16.71 ID:o6kotS7K
>>3
ムーアの法則でムーアが言いたかった本質に沿ってれば問題ないだろ

5: 2018/12/18(火) 15:25:36.99 ID:65NDyju8
7も5も3も変わらん

6: 2018/12/18(火) 15:31:10.54 ID:Y1KzsLGc
>>1
延命も何も、ムーアの法則は終了しました・・・

8: 2018/12/18(火) 15:34:04.31 ID:Y1KzsLGc
技術的には可能でも、コスト的に無理とか

11: 2018/12/18(火) 15:43:41.06 ID:i6s4oXT6
現実の方を寄せに行ってる「法則」

12: 2018/12/18(火) 15:52:30.78 ID:IeVUNL9C
>>11
法則って意味わかってる?

17: 2018/12/19(水) 02:17:45.42 ID:CtVB2rtb
>>11
競争は表向きで、裏でカルテルを結んでいる陰謀論

14: 2018/12/18(火) 17:44:14.11 ID:QnfmLG0u
単なる無限利殖法、できなければ売れなくなる

16: 2018/12/18(火) 17:44:41.73 ID:I7kibTCC
もう無理だろう。
電子が漏れる。

18: 2018/12/19(水) 03:42:49.74 ID:uuWPtuup
>>1
単位をnmじゃなくpmにすれば
3nm→3000pmになってどうにかなりそうな気がしてこないか?

20: 2018/12/19(水) 08:22:50.81 ID:QLA4CkOM
×ムーアの法則
○ムーアの約束

29: 2018/12/20(木) 09:09:13.34 ID:dRyBjdod
>>20
これが真実

21: 2018/12/19(水) 08:37:25.53 ID:iHP/qOBL
ムーアの法則って面積あたりが単位だったけど体積で考えると18ヶ月あたり2√2倍とかになるのかな

22: 2018/12/19(水) 09:55:18.20 ID:ysWtD5wY
ムーアの法則は三年四倍則
三年毎に新プロセスが作られて
DRAMの集積度が四倍になっていく時期の話
1k 4k 16k 64k 256k って風になってたのだな
今はフラッシュメモリーが最先端なので引継いでる感じか
ほぼ
1つのチップの大きさとかトランジスタサイズには言及してないよ
後から周囲が言い始めて伝説化したのでぐちゃぐちゃになってるが

23: 2018/12/19(水) 10:48:57.71 ID:QSih5xe5
3ナノメートルって原子何こ分くらいナノ?

30: 2018/12/20(木) 23:21:12.54 ID:FVoHhIFM
>>23
30個分くらい
集積度的にはこれで限界
現在ではゲート酸化膜の厚み制御が限界になってる
原子一個単位で厚み制御してる
フラッシュメモリーのように垂直方向に積み上げれば、
まだまだいけるが排熱がな
根本的に設計思想を変える時期

24: 2018/12/19(水) 23:58:08.82 ID:L/BBYsTz
そもそも法則自体に何ら論理的根拠がないんだから意味ないだろ

25: 2018/12/20(木) 02:01:56.91 ID:lNtdXGDA
歩留まりも知らんのか

26: 2018/12/20(木) 02:20:46.75 ID:HQtO07pv
最終的に原子の大きさになったら、それ以上は無理だよな

27: 2018/12/20(木) 02:25:09.34 ID:18sEerJp
ムーアさんがこう言ったから俺らもこのくらいの研究するか...みたいな感じで成り立ってるからな

31: 2018/12/21(金) 01:33:52.62 ID:RPA0o0IZ
もう既に可視光線より短い

32: 2018/12/21(金) 01:58:47.07 ID:MhzqSF+o
無理するなw 上に詰めw

35: 2018/12/21(金) 11:26:28.37 ID:+KzQu+2w
もしも原子分子のサイズ自身を縮小できたなら、まだ行けるかもしれないが、
まあまず無理だからな。

37: 2018/12/23(日) 01:47:47.30 ID:Tv36JjO7
ダークシリコン問題があるからね

38: 2018/12/25(火) 10:22:59.54 ID:K3AVfthV
熱に強い炭素を縦に積む、カーボンナノチューブの気相法のような作り方にならんとならないのかな

39: 2018/12/28(金) 19:07:48.85 ID:1aeTDzk4
大脳だって表面がひだひだのシワが入り組んだ構造になっているから、
将来の3Dの集積回路や計算機の構造はああなるのかも。